Từ masturbation ("thủ dâm" trong các tiếng Âu châu) được tin là có nguồn gốc ở từ mezea của tiếng Hy Lạp(μεζεα, "dương vật") và từ turbare ("nhiễu loạn") của tiếng Latin. Một từ nguyên khác dựa trên tiếng Latin manu stuprare ("để cưỡng dâm bằng tay") được từ điển Oxford English Dictionary coi là một "phỏng đoán cũ". Từ đồng nghĩa và ít được sử dụng manustupration cũng có nguồn gốc tương tự từ manus stuprare.

Một từ khác cũng được sử dụng là onanism, xuất phát từ tên một nhân vật trong Sách Sáng Thế của Kinh Thánh Cựu Ước là ông Onan (Ônan). "Ông Judas (Giuđa) cưới cho Er (E), con trai đầu lòng của ông, một người vợ tên là Tamar (Tama). Er, con đầu lòng ông Judas, làm mất lòng Đức Chúa, nên Đức Chúa khiến cậu chết. Ông Judas bảo Onan: "Con hãy ăn ở với chị dâu con, hãy chu toàn nhiệm vụ của một người em chồng, và làm cho anh con có người nối dõi.[11] Onan biết rằng dòng dõi sinh ra sẽ không phải là của mình, nên khi ăn ở với chị dâu, thì cậu lại cho tinh trùng rơi xuống đất, để không cho anh cậu có người nối dõi". (St 38,6-9)

Trong tiếng Việt, từ thủ dâm có gốc từ chữ Hán 手淫, có nghĩa là "hành dâm bằng tay".